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PHO-SC-4激光驱动光源

PHO-SC-4激光驱动光源(LDLS)在深紫外至可见光以及红外光谱范围(170 nm ~ 2500 nm)内提供超高发光亮度,在DUV波段的亮度是传统光源如氙灯的10倍以上。光源的寿命也比传统氙灯高出近一个数量级(10000 h),且具极好的稳定性。为目前使用传统弧光灯出现频繁更换、波长覆盖不足、亮度不够的用户,提供了一个新的选择。

产品特点
应用场景
性能参数
推荐产品

产品特点

超宽的光谱范围

170 – 2500nm超宽光谱波段,覆盖UV、可见光、近红外

长寿命

仅在初始点亮时使用两个电极,后续用激光保持等离子体,电极没有磨损,灯泡的使用寿命长

高辐射照度

●极小的发光点,易聚集光线,可实现光的有效利用
●小发散角,易形成理想的平行光线

应用场景

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先进制造

半导体晶圆缺陷检测、膜厚量测、套刻对准测量

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材料表征

光伏材料、化合物半导体器件开发

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生物医学

圆二色光谱、荧光病理、内窥镜成像、OCT、光动力疗法

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空间科学仪器

航空航天光谱遥感分析、海洋油气光谱遥测、光谱仪器分析研究

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性能参数

关键性能指标

单位

规格参数

波长范围

nm

170 – 2500

光谱辐射亮度

Typ.

mW/(mm2.sr.nm)@500nm

>75

输出光总功率

Typ.

W

≥8

数值孔径

NA

/

0.5

功率稳定性

/

±0.2%

输出方式

/

自由空间输出

使用寿命

Typ.

小时

10 000

总功率衰减

/

10000 小时衰减<10%

质心空间稳定性

um/h

< 5

发光点尺寸

Typ.

um

137*363

热机时间

Min

30

激光等级

/

Class1

是否需要接地

/

 

外观尺寸

灯室尺寸

mm

133 x 186 x 100

光源驱动器尺寸

mm

155x 298 x 131


光电指标

单位

规格参数

电源电压范围

VAC

100-240

电源频率范围

Hz

50-60

电源功耗

W

≤350

激光器功率

W

80

氮气接口

/

冷却方式(驱动)

/

水冷

冷却方式(灯室)

/

水冷


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